ウェハ欠陥検査装置

ウェハ搬送ロボから自動外観検査装置まで、半導体用各種装置をご紹介！

伊藤忠マシンテクノスが取り扱う、アテル株式会社の『ウェハ欠陥検査装置』をご紹介します。全ての裏面プロセスを全自動で欠陥検出可能な「ウェハ裏面(表面)専用自動欠陥検出装置」をはじめ、「ウェハ外観検査マクロミクロ装置」や「卓上ローダー・ソーター装置」など、多種多様な装置を取り揃えております。【ウェハ裏面欠陥検出内容】 ■バックグラインド工程による加工時の欠陥 ■ハンドリング時の欠陥 ■薄型ウェハ、貼り合わせ工程の欠陥 ■ウェハ裏面メタル工程による欠陥 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。