透明ウェーハも高速検査！高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出！
『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、 最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。 高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出！ ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます！ 【その他の特長】 ■高スループット（1カセット25枚を、約40分で検査） ■欠陥の凹凸を弁別 ■全数オートフォーカス ■カスタマイズ対応 ■1カセット自動検査対応 ■欠陥に対する高精度マーキング（オプション） ■レーザー顕微鏡による欠陥レビュー（オプション）
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基本情報
【主な仕様】（型式：LE-W1） 検出方式 ：レーザー散乱方式、反射方式、位相シフト方式 検出欠陥 ：パーティクル、スクラッチ、ピット、ヒロック、ステイン等 対象素材 ：Si、SiC、GaN、LT、サファイア等 対象サイズ ：2、4、6、8インチ （その他、別途ご相談） 検査時間 ：約90秒／枚（4インチ、10μmピッチ、搬送時間含む） レーザー波長：405nm 検査ピッチ ：5～30μm 結果出力 ：マップ、種類別グラフ、リスト、サイズ分類 機器寸法 ：W 1800×D 990×H 1490（mm） ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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納期
用途／実績例
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クボタは、人類の生存に欠かすことのできない食料・水・環境に関わる課題解決を通じて、豊かな社会と自然の循環を支えてきました。 クボタ精密機器事業ユニットおよびクボタ計装では「計量・計測技術」を基軸に、様々な産業で求められる、自動化・省力化、高精度での計測・制御、データ処理などのソリューションを提供し、社会の発展に貢献しています。