透明ウェーハも高速検査！高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出！
『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、 最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。 高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出！ ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます！ 【その他の特長】 ■高スループット（1カセット25枚を、約40分で検査） ■欠陥の凹凸を弁別 ■全数オートフォーカス ■カスタマイズ対応 ■1カセット自動検査対応 ■欠陥に対する高精度マーキング（オプション） ■レーザー顕微鏡による欠陥レビュー（オプション）
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基本情報
【主な仕様】（型式：LE-W1） 検出方式 ：レーザー散乱方式、反射方式、位相シフト方式 検出欠陥 ：パーティクル、スクラッチ、ピット、ヒロック、ステイン等 対象素材 ：Si、SiC、GaN、LT、サファイア等 対象サイズ ：2、4、6、8インチ （その他、別途ご相談） 検査時間 ：約90秒／枚（4インチ、10μmピッチ、搬送時間含む） レーザー波長：405nm 検査ピッチ ：5～30μm 結果出力 ：マップ、種類別グラフ、リスト、サイズ分類 機器寸法 ：W 1800×D 990×H 1490（mm） ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
電装機器事業部は、ハイテク技術をベースに、各種計量・計測機器や制御システムなど加速する技術開発の波にフレキシブルに対応しながら、ユニークな高付加価値製品を通じて情報機器・システム事業をめざしています。 その中でもはかり事業は、センサ技術、デジタル技術を駆使した各種計量・計測機器をはじめ、データ処理や異物検出など生産から出荷まで、多岐にわたるお客様の用途に応じ、「計測」を提供し続けています。