【展示会情報】『SEMICON JAPAN 2025』に出展します

透明素材にも対応する高精度検査装置

微分干渉顕微鏡を搭載した表面欠陥検査装置で 透明体材料にも適用しております。 全面検査による欠陥マップ出力や検出した欠陥の 顕微鏡観察が可能な装置です。 ■装置の特長 ・独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別機能 ・欠陥を観察しながら高精度なケガキが可能 ・他装置で検査したウェハに対し、欠陥座標を元に 　観察、欠陥アルバムの作成が可能。 ・結晶欠陥の検出機能を開発中

• 半導体検査/試験装置

ウェハの欠陥目視検査を自動化を実現

■以下のご要望・お困りごとにお応えする装置です！ ・ウェハ（基板）の欠陥目視検査を自動化したい。 ・検査員ごとの合否判定ばらつき低減、防止したい。 ・検査データの保存、品質のトレースを行いたい。 ・自動で欠陥弁別したい。 ■装置の特長 ・目視可能な欠陥を自動で検出、抽出、弁別できます。 ・欠陥種類に合わせて最適化した光学系の提案が可能です。 ・手動機/自動搬送(カセットtoカセット）とも提案可能です。 ・AI機能も実装しており、学習を進めることで 欠陥弁別精度向上が可能です。

• 半導体検査/試験装置

レビュー用顕微鏡搭載！検出した欠陥を顕微鏡でリアルタイムに観察可能です

高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査（約181秒/12inch） ・レビュー用顕微鏡を搭載 ・顕微鏡はレーザー顕微鏡/微分干渉顕微鏡のどちらか選択可能 ・SEM等での分析用に顕微鏡を利用した高精度なケガキが可能 ・オプションでエッジ検査機能の搭載が可能

• 半導体検査/試験装置

透明ウェーハも高速検査！高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出！

『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、 最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。 高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出！ ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます！ 【その他の特長】 ■高スループット（1カセット25枚を、約40分で検査） ■欠陥の凹凸を弁別 ■全数オートフォーカス ■カスタマイズ対応 ■1カセット自動検査対応 ■欠陥に対する高精度マーキング（オプション） ■レーザー顕微鏡による欠陥レビュー（オプション）

• 外観検査装置
• 欠陥検査装置
• 基板検査装置

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特徴： ●Intel Core Ultra プロセッサー（シリーズ2）対応 ●A1 SKU: Intel H810 チップセット 　A2 SKU: Intel Q870 チップセット ●Intel Xe LPG グラフィックエンジン ●DDR5 SODIMM ×2、最大 96GB（別売） ●HDMI 2.0 ×2 ●2.5GbE LAN ×2、1GbE LAN ×1 ●10V～35V DC 入力（4ピン端子台） ●広温度範囲: -25°C ～ 60°C ●TPM 2.0 搭載 ●iAMT 対応（A2 SKU のみ） ※メモリ、ストレージ、OSレスのモデルとなります

特徴： ●Intel 13世代 Core i3-1320PE/i5-1340PE/i7-1370PE搭載 ●Intel Iris Xe グラフィックス ●DDR5 SODIMMx 2スロット　最大 96GB 搭載可能（別売） ●デュアル HDMI 映像出力対応 ●2.5G LAN ×5 搭載（IEEE 802.3 at PSE ×4 対応） DC入力が12V未満の場合：PoE合計最大20W対応、DC入力が12V以上の場合：PoE合計最大60W対応） ●広範囲 9～36V DC 電源入力（端子台タイプ） ●動作温度範囲 -25～60°C ●TPM 2.0 オンボード ※メモリ、ストレージ、OSレスのモデルとなります

特徴 ●Intel Core i3-N305 / Atom x7211E / N50 / N97 /x7835RE / x7433RE / x7211RE搭載 ●DDR5 SO-DIMM×1 対応（別売) ●USB 3.2 Gen2×2、USB 2.0×4 ●2.5 GbE×1 ●M.2 2280 M-Key (PCIe [x2])/M.2 2230 E-Key ●M.2 3052 B-Key for 5G ●DC 9~36V入力

配管をデザインとして取り入れたい空間にフィット！ 黒色の吊りボルト用化粧カバー「BC3」 、化粧キャップ「ZC3」、保温材保護プレート吊りバンド用「TB-HG-K/TB-HGL-K」、チャンネルアングル用「CL-HG-K/CL-HGL-K」 ■製品詳細 めかくしシリーズで吊りボルトの美観向上！ ・めかくし丸 吊りボルト用化粧キャップ「ZC3」 ・めかくし棒 吊りボルト用化粧カバー「BC3」 保温材のつぶれを抑制！ ・保温材保護プレート吊りバンド用「TB-HG-K/TB-HGL-K」 ・保温材保護プレートチャンネルアングル用「CL-HG-K/CL-HGL-K」