ウェハの欠陥目視検査を自動化を実現
■以下のご要望・お困りごとにお応えする装置です！ ・ウェハ（基板）の欠陥目視検査を自動化したい。 ・検査員ごとの合否判定ばらつき低減、防止したい。 ・検査データの保存、品質のトレースを行いたい。 ・自動で欠陥弁別したい。 ■装置の特長 ・目視可能な欠陥を自動で検出、抽出、弁別できます。 ・欠陥種類に合わせて最適化した光学系の提案が可能です。 ・手動機/自動搬送(カセットtoカセット）とも提案可能です。 ・AI機能も実装しており、学習を進めることで 欠陥弁別精度向上が可能です。
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基本情報
【検出可能な最小欠陥】 30um 【対象形状】 円形：直径200mm以下 矩形：140mm□以下 ※上記以上のサイズを測定されたい場合、ご相談ください。 【検査時間】 100PPH
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クボタは、人類の生存に欠かすことのできない食料・水・環境に関わる課題解決を通じて、豊かな社会と自然の循環を支えてきました。 クボタ精密機器事業ユニットおよびクボタ計装では「計量・計測技術」を基軸に、様々な産業で求められる、自動化・省力化、高精度での計測・制御、データ処理などのソリューションを提供し、社会の発展に貢献しています。
