透明素材にも対応する高精度検査装置
微分干渉顕微鏡を搭載した表面欠陥検査装置で 透明体材料にも適用しております。 全面検査による欠陥マップ出力や検出した欠陥の 顕微鏡観察が可能な装置です。 ■装置の特長 ・独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別機能 ・欠陥を観察しながら高精度なケガキが可能 ・他装置で検査したウェハに対し、欠陥座標を元に 観察、欠陥アルバムの作成が可能。 ・結晶欠陥の検出機能を開発中
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基本情報
【検出】 方 式： 微分干渉顕微鏡を用いた画像解析方式 検出サイズ： 0.3um（対物レンズ10倍使用時） 【対象基板】 種 類： 透明体を含む各種基板 サ イ ズ： 4inch 、6inch、8inch、別途相談に応じます 【装置サイズ】 外形寸法 ： W1,700 x D1,000 x H1,935 (mm) 質 量： 約800kg
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クボタは、人類の生存に欠かすことのできない食料・水・環境に関わる課題解決を通じて、豊かな社会と自然の循環を支えてきました。 クボタ精密機器事業ユニットおよびクボタ計装では「計量・計測技術」を基軸に、様々な産業で求められる、自動化・省力化、高精度での計測・制御、データ処理などのソリューションを提供し、社会の発展に貢献しています。
