【製品情報】ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』

透明ウェーハも高速検査!高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出!
『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、
最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。
高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出!
ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます!
【その他の特長】
■高スループット(1カセット25枚を、約40分で検査)
■欠陥の凹凸を弁別
■全数オートフォーカス
■カスタマイズ対応
■1カセット自動検査対応
■欠陥に対する高精度マーキング(オプション)
■レーザー顕微鏡による欠陥レビュー(オプション)

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