コントラストの低い画像を見やすくする処理を使用して見つけにくい欠陥部を検出
『IR-MEMS100』は、ロボットにより自動的に貼り合わせウエハーを 搬送してウエハーの内部状態を特殊赤外線光学系で画像を撮影し、欠陥検出 アルゴリズムを使用して各種欠陥を検出するMEMS全自動欠陥検査装置です。 赤外線顕微鏡にセットした高感度赤外線カメラで画像を撮影し独自の 欠陥検出ソフトウエアにて見えにくい欠陥部を検出します。 【特長】 ■赤外線顕微鏡にセットした高感度赤外線カメラで画像を撮影し独自の 欠陥検出ソフトウエアにて見えにくい欠陥部を検出する ■コントラストの低い画像を見やすくする処理（エフェクト処理）を 使用して見つけにくい欠陥部を検出する ■対応ウエハーサイズは4インチ、6インチ、8インチ ■欠陥検出能力は約10μm ■検査時間は30分/ウエハー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他機能】 ■アライメントマークずれ ■自動アライメント機能 ■カセットtoカセット搭載可能 ■ロボットによる自動供給、搬出 ■オフラインソフトウエアにより欠陥部の机上での確認も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■各種欠陥の検出 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ディスクテックの画像処理は社内光学系技術者、レーザー技術者、ハードウェア、ソフトウェア、精密機械技術者がトータルソリューションを提供します。赤外線を応用した検査装置、三次元検査装置など手がけています。自社製品の赤外線顕微鏡は10年以上の実績があります。