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バッチ式メガソニック！750kHzや2000kHzなど多彩な周波数を選択可能
『ファインソニック』は、均一な音圧を実現できる洗浄ユニットです。 1W刻みの安定した出力調整が可能。各種ウエハー基板洗浄や 各種フォトマスク、磁気ディスクなどに適しております。 また、最大出力アップで洗浄エリアの拡大に貢献します。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■均一な音圧を実現 ■多彩な周波数を選択可能[750kHz/(1000kHz)/(1500kHz)/2000kHz] ■微細な出力調整：1W刻みの安定した出力調整可能 ■最大出力アップ：洗浄エリアの拡大 ■通信機能：発振器状態の監視、外部設定(PT-150MV) ■各種規格対応(FCC,CE,RoHS) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！
『ファインジェット』は、多彩な周波数を選択可能な洗浄ユニットです。 低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応。 各種ウエハー基板洗浄や磁気ディスク、ウエハーのCMP後洗浄などの 用途に適しております。 また、耐薬品、メタルコンタミネーションフリーといった多彩なノズル バリエーションがございます。 【特長】 ■微細な出力調整：1W刻みの安定した出力調整可能(PT-010J50) ■多彩な周波数を選択可能(400kHz/1500kHz/3000kHz) ■多彩なノズルバリエーション：耐薬品、メタルコンタミネーションフリー ■検出機能強化：振動子劣化を検出可能(PT-010J50) ■通信機能強化：発振器状態の監視、外部設定(PT-010J50) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツールのご紹介！
『ファインスコール』は、FPD用基板洗浄や各種ウエハー基板洗浄などに 適した洗浄ユニットです。 洗浄幅は160mmから2210mmまでラインアップ。 きめ細やかなサイズバリエーションをご用意しております。 また、最大出力アップで、洗浄エリアの拡大及びコストダウンに貢献します。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■きめ細やかなサイズバリエーション ■洗浄幅は160mmから2210mmまでラインアップ ■微細な出力調整：1W刻みの安定した出力調整可能(PT-150MV) ■最大出力アップ：洗浄エリアの拡大及びコストダウン ■通信機能：発振器状態の監視、外部設定 ■各種規格対応(FCC,CE,RoHS) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
