深さ測定器(赤外線) - 企業1社の製品一覧

トレンチ深さ測定装置 IR2100

トレンチ深さ測定装置

パワーデバイスのディープトレンチやTSV形状、DRAMのキャパシタートレンチの深さ、CD測定、リセス測定を非接触で測定。独自技術MBIR（Model Based Infrared)により高アスペクト比のトレンチの測定が可能。また、エピ膜のドープ濃度の縦方向プロファイルの測定にも対応。

• 企業：日本セミラボ株式会社 新横浜本社
• 価格：応相談

• その他検査機器・装置