減圧乾燥機「奈良バキュアフルイドディスク」
単軸の減圧乾燥専用のディスクドライヤーです。
バキュアフルイドディスクは単軸の減圧乾燥専用のディスクドライヤーです。ディスクとジャケットからの間接加熱による減圧環境 (Vacuum)で発生する流動化現象 (Fluidized)を利用して、効率よく低温乾燥が実現できます。
- 企業：株式会社奈良機械製作所
- 価格：応相談
減圧乾燥機(溶剤) - メーカー・企業と製品の一覧
減圧乾燥機の製品一覧
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減圧乾燥装置「VD-500S」
タッチパネル制御によりレシピ操作ができる減圧乾燥装置です
「VD-500S」は減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を 減圧乾燥する装置です。「VD-400」よりチャンバーサイズがひと回り大きい仕様です。 【特長】 ・タッチパネル制御による操作の簡易化 ・レシピ操作有り（操作手順の再現化が可能） ・２段階排気により風紋や発泡を抑えた乾燥の実施 ・バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能 【主な仕様】 ○チャンバー ：外寸法 580mm x 480mm 高さ103mm（蓋閉時） 内寸法 530mm x 430mm 高さ53mm ○真空：到達真空度 約1Pa以下（無負荷時） ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社イーエッチシー
- 価格：応相談
