タッチパネル制御によりレシピ操作ができる減圧乾燥装置です
「VD-500S」は減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を 減圧乾燥する装置です。「VD-400」よりチャンバーサイズがひと回り大きい仕様です。 【特長】 ・タッチパネル制御による操作の簡易化 ・レシピ操作有り（操作手順の再現化が可能） ・２段階排気により風紋や発泡を抑えた乾燥の実施 ・バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能 【主な仕様】 ○チャンバー ：外寸法 580mm x 480mm 高さ103mm（蓋閉時） 内寸法 530mm x 430mm 高さ53mm ○真空：到達真空度 約1Pa以下（無負荷時） ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【仕様】 〇チャンバー ： 外寸法 580mm x 480mm 高さ103mm（蓋閉時） 内寸法 530mm x 430mm 高さ50mm 〇真空系 ： 到達真空度 1Ｐa以下（サンプル無） ドライポンプ 600L/min 〇減圧方式 ： 圧力モード 設定圧力に達したら自動で大気解放 時間モード 設定された時間減圧したら自動で大気解放 圧力＆時間 設定圧力まで減圧して圧力保持、設定時間経過したら自動で大気解放 〇ユーティリティー：３Φ ＡC200~240V/15A 50/60Hz ：ドライエアー0.4～0.6MPa ：真空排気用ダクト接続 〇外形寸法 ：（Ｗ）1200×（Ｌ）1000mm×（Ｈ）950mm 〇装置重量 : 約２５０Ｋｇ ＊上記項目は要求仕様により変更可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報
お問い合わせください
納期
※お問い合わせください
用途／実績例
カラーレジストを塗布したガラス基板の減圧乾燥 有機溶剤を塗布した基板の薄膜形成 粉体や熱に弱い試料を低温で乾燥させることが可能です。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
当社は創業1972年以来、ディスプレイに携わる技術者・研究者を支援してきました。事業根幹である各種ガラス基板及び世界標準のEHCセルを国内外へ製造・販売しています。近年、多様な金属成膜基板及び高精細パターンガラス基板の要求が強まっています。周辺装置として客先仕様の小型液晶パネル組立装置やウェットプロセス装置、さらに有機EL・太陽電池の測定検査装置などを専用システムとして、あるいは簡易冶具等も含めて提供しています。
