『ASM Epsilon用温度センサー』
新コーティング技術で、センサ寿命3倍！最大45％のコストダウンを実現！
今回新たに、米国CONAX社が開発した新技術“EtchDefender”を採用し、 ウエハの異物付着の低減、失透速度、浸食速度のスロー化などにより、 従来のセンサーの最大3倍にまで寿命延ばすことが可能となりました！ “EtchDefender”は数年間にわたり、大学の研究機関、大手ウエハメーカーの 製造設備にて、検証を繰り返して達成した信頼性のある技術です。 この新しいコーティング技術によって、センサーの寿命を延ばし、 35～45％もの大幅なコストダウンを実現することができます。 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：ＩＢＰテクノロジー株式会社
- 価格：応相談
