【圧力測定フィルム活用事例】ダイ・コレット
チップの取り出し・搬送ミスを低減し、品質向上と歩留まり改善を実現した事例!
「プレスケール」を使用し、半導体製造におけるダイボンディング用の チップ吸引治具の調整を行った事例をご紹介します。 吸引ノズルが半導体チップに均一に当たっていないと、取り出し不良や チップのキズが発生します。近年ウェハが薄くなり割れやすくなるなど、 よりシビアな管理が必要とされています。 吸引ノズルの切り替え時に、まずはプレスケールでチェックし、平行度を 調整した後にダイボンディングを開始。吸引での搬送に起因する工程異常/ 品質異常の発生が防げます。 【事例概要】 ■目的:ダイボンディングにおけるチップの取り出し・搬送ミスを低減 ■測定対象:ダイボンディング時の吸引治具 ■用途:ダイボンディング用のチップ吸引治具(ダイ・コレット)の調整 ■成果:品質向上、歩留まり改善 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。