高さ測定検査機
300mmφウエハ対応の顕微鏡式非接触高さ/段差/厚み測定機
ターゲットの左右ラインの画像検出とZ軸自動制御で半自動に高精度測定ができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業:株式会社アイティ・テック
- 価格:応相談
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300mmφウエハ対応の顕微鏡式非接触高さ/段差/厚み測定機
ターゲットの左右ラインの画像検出とZ軸自動制御で半自動に高精度測定ができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。