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先端プロセスの要求に応える高温ダイレクト測定・長期安定性能・コンパクトボディで洗浄工程の効率向上に貢献
『CS-600F』は、高温薬液（20℃～80）のダイレクト・安定測定を 実現する光ファイバ式薬液濃度モニタです。 ユーザーサイドでの薬液の冷却が不要で、ふらつきがちな高温薬液の ダイレクト測定を安定して計測することが可能。 薬液管理の効率化・高精度化を実現します。 【特長】 ■本体のコンパクト化による、レイアウトフリーを実現 ■インライン測定でのバックグラウンド補正頻度を大幅に低減 ■1台で最大6薬液種（薬液またはレンジ）の測定が可能 ■最大6成分の測定値を出力可能（シリアル出力の場合） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
薬液濃度管理で歩留まり向上・プロセスの最適化へ貢献します
『CS-900』は、半導体製造工程における厳しい薬液濃度管理に 対応するため安定した測定精度、作業の安全性を考慮した独自の 配管保持構造、コンパクトデザインなど現場ニーズに好適な 高機能化を果たしている非接触型薬液濃度モニタです。 PFA配管へダイレクトに外付けする独自のセンサ構造により コンタミリスクが ゼロ に。また、センサ取り付け時における配管施工等が 不要になり、薬液漏れなどの事故のリスク削除をもたらします。 【特長】 ■光ファイバーを使用しない光学設計とアンプ・センサの小型化により 設置レイアウトの自由度が向上 ■完全非接触かつ高安定性を実現 ■薬液（20℃～80℃）のダイレクト・安定測定を実現 ■簡単取り付け、取り外しが可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
