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焼成炉(バーナー) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

焼成炉の製品一覧

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セラミック焼成炉

処理温度1600℃以上!煙突部のアフターバーナでバインダーを焼却

株式会社成田製作所で行った「セラミック焼成炉」の 製作事例についてご紹介いたします。 熱源はガス、処理温度は1600℃以上。脱脂から焼成まで行い、 煙突部のアフターバーナでバインダーを焼却。 当社では、工業用ガスバーナーや各種熱処理炉、乾燥炉、 それらに付随する加工用設備や投入搬送装置、各種省力化 装置などを、ご要望に応じた特注品の設計製造を中心に 事業を営んでいます。 【事例概要】 ■熱源:ガス ■処理温度:1600℃以上 ■用途:セラミック焼成 ■特長:脱脂から焼成まで対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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焼成炉『高温シャトルキルン』『ファイバーシャトルキルン』

炉内雰囲気(酸素濃度)の再現性を実現!構成材の軽量化により低燃費・迅速焼成

『シャトルキルン』は、製品を積載した台車を炉内へ装入し、所定の温度で 処理する形式の炉です。 生産量の調整と、焼成温度のパターン変更が容易。 自社開発のバーナー(スーペリオバーナー)と温度制御システムにより、 約100℃から2℃/hの精密な温度コントロールと均一焼成を実現します。 【特長】 ■約100℃から2℃/hの精密な温度コントロールと均一焼成を実現 ■炉内雰囲気(酸素濃度)の再現性を実現 ■荷姿や限られた設置スペースに応じた好適な燃焼方式をご提案 ■特殊な炉材構成によるメンテナンスが軽減 ■セラミックスファイバー等、構成材の軽量化により低燃費・迅速焼成を実現 流量制御システムでは、空燃比をコントロールしながら温度を制御するため、 炉内雰囲気の再現性を確立します。 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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静電チャック(ESC)向け 雰囲気焼成炉

N₂+H₂還元雰囲気と露点制御で、ESC焼成の再現性と条件出し効率を向上。

静電チャック(ESC)の焼成プロセスに特化したマルチ雰囲気対応の電気炉です。常用1600℃(Max 1650℃)の高温域に対応し、N₂およびN₂+H₂の還元雰囲気で運転可能。さらにWetterによるInputガス加湿によりDry/Wet切替(オプション)を実現し、露点(pH₂O)制御で表面状態調整の再現性を高めます。 同一チャンバー内で雰囲気を切替できるため、工程分割に伴う待機・搬送・外気曝露を抑制し、パーティクルや水分等の再付着リスクを低減。ESC焼成の条件出し工数削減と品質安定化に貢献します。

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