N₂＋H₂還元雰囲気と露点制御で、ESC焼成の再現性と条件出し効率を向上。
静電チャック（ESC）の焼成プロセスに特化したマルチ雰囲気対応の電気炉です。常用1600℃（Max 1650℃）の高温域に対応し、N₂およびN₂＋H₂の還元雰囲気で運転可能。さらにWetterによるInputガス加湿によりDry/Wet切替（オプション）を実現し、露点（pH₂O）制御で表面状態調整の再現性を高めます。 同一チャンバー内で雰囲気を切替できるため、工程分割に伴う待機・搬送・外気曝露を抑制し、パーティクルや水分等の再付着リスクを低減。ESC焼成の条件出し工数削減と品質安定化に貢献します。
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基本情報
・炉内寸法：W 550 × D 550 × H 600 mm ・最高温度：常用 1600℃（Max 1650℃） ・雰囲気：N₂、N₂＋H₂（Dry/Wet切替：オプション） ・処理方式：バッチ ・ヒーター：Wロッドヒーター ・炉内材質：セラミック断熱材 ・ユーティリティ：電気：AC 380V、3相、60Hz、82 kVA ・ガス圧：0.3 MPa ・冷却水：約25℃、0.2 MPa ・安全：H₂はアフターバーナーで燃焼処理。過昇温防止、排気系過負荷保護、圧力監視・遮断などインターロック搭載
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用途／実績例
・用途：静電チャック（ESC）セラミックス部品の焼成（脱バインダー／還元・脱炭／表面状態調整／仕上げ工程など） ・狙い：N₂＋H₂還元雰囲気、Dry/Wet（露点）制御により、材料の仕上がり（緻密さ・絶縁性・内部電極状態など）に関わる焼成条件の再現性を向上 ・効果例：工程・装置分割による搬送や外気曝露を抑え、汚染・ばらつき要因を低減／条件出し工数の削減
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企業情報
当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。
