【分析事例】SiC表面の結合状態・膜厚評価
詳細な状態評価と併せ、膜厚計算が可能
XPSでは試料表面の化学結合状態を評価することができ、波形解析により更に詳細な評価をすることが可能です。加えて、波形解析結果に仮定パラメータを用いることで、表面酸化膜等の膜厚を算出することも可能です。 本資料では、SiC表面の組成・状態評価を行うとともに、取得したピーク強度から酸化膜厚を算出した事例をご紹介します。
- Company：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- Price：応相談
状態評価装置 - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS
状態評価装置 Product List
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【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価
Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出
Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。 主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。 各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。 （クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。）
- Company：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- Price：応相談
展示会出展のお知らせ「JASIS2025」
「JASIS2025」に出展いたします！！
2025年9月3日～5日の3日間 千葉・幕張メッセにて開催されます、 「JASIS2025」(最先端科学・分析システム＆ソリューション展) に出展いたします。
- Company：株式会社カネカテクノリサーチ 本社、大阪分析センター、高砂分析センター
- Price：応相談
