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シリコンウエハーの鏡面研磨や小型金型研磨時間短縮などの応用事例をご紹介！
昨年から工作機械へのファインバブルの利用問合せが増えて来ました。 効果が顕著なのはアルミ加工と研削加工です。 「アルミ構成刃先剥離効果」をはじめ、「クーラントタンクの清掃」や 「シリコンウエハーの鏡面研磨」「潤滑油の浮上分離」などに応用可能。 ご依頼・ご質問・お見積りなどお気軽にご相談ください。 【応用事例】 ■アルミ構成刃先剥離効果 ■クーラントタンクの清掃 ■シリコンウエハーの鏡面研磨 ■小型金型研磨時間短縮 ■潤滑油の浮上分離 ■水溶性クーラント液の腐敗防止と悪臭抑制 ※事例の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
洗浄できている面積割合が、92％に到達することを明らかにした事例のご紹介です！
シリコンウエハー洗浄のメカニズムに関する事例をご紹介します。 ウルトラファインバブルの内部が高圧になる特性を利用して、 圧力波により固体表面の微粒子を除去する効果を実験的に検証。 1ミクロン以上の微粒子が除去され観察されなくなったこと、また、 洗浄できている面積割合が、92％に到達することを明らかにしました。 【洗浄効果】 ■洗浄前：359～472um2 ■超純水洗浄後：320～482um2 ■超純水ジェット＋ウルトラファインバブル洗浄後 ・1000倍画像：28.65um2 ・3000倍画像：37.33um2 ※事例の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
要求される鏡面を簡単にクリアー！ファインバブルを使用して解決した事例
シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工にファインバブルを使用した事例を ご紹介します。 数種類の対策をしたが要求される超超鏡面ができず、研削液配管途中に OKノズルを設置。ファインバブルを使用して解決しました。 また、ファインバブルの破裂の衝撃によって砥石の切り刃が常に確保され、 研削キリコが洗浄され必要面粗度が得られました。 【事例概要】 ■課題：数種類の対策をしたが要求される超超鏡面ができなかった ■対応：研削液配管途中にOKノズルを設置 ■効果 ・感謝の言葉を頂いた ・ファインバブルの破裂の衝撃によって砥石の切り刃を常に確保 ・研削キリコが洗浄され必要面粗度が得られた ※事例の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
マイクロバブルがどのように発生するか、ビデオ撮影しました。
無水エタノール99.5％中でマイクロバブルがどのように発生するか、ビデオ撮影をしました。空の水槽にエタノールが入ったグラスを入れ、420cc/minノズルを使って発生させました。圧は約0.27MPaです。 前半は濃い白濁ですが、後半は薄くなりました。マイクロバブルの発生をコントロールするのに少しコツがいるようです。電磁ポンプを使用していたので、振動を緩和しようとシリコーンゴムチューブを使用したところ、実験途中で破裂しました。 映像は、圧がかかるところをウレタンチューブに変更して撮影しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
