ウェットバス監視分析計『TALYS ADP300シリーズ』
昨今の製造ニーズにお応え！低コストで高精度なウェットバス監視分析計
『TALYS ADP300シリーズ』は、ウェットエッチング、クリーニング、 またはフォトレジスト(PR)除去プロセスのリアルタイム、バッチ式、または シングルウエハツールの監視に適したデュアルチャンネル分析システムです。 リアルタイムでの薬液濃度監視によって、オペレータおよび技術者による 化学物質の使用量を低減。 製造条件からの逸脱頻度を抑えることを可能にします。 【特長】 ■分析計の専門的な知識が無くても使用可能 ■24時間365日稼働し、分析計上のモニタにデータを表示 ■運転中に試薬を必要としないため、ランニングコストの大幅な削減に貢献 ■チューブの変更不要でコンタミネーションのリスクを回避 ■分析計の電子構成ファイルをメールからアップロードすることで、 追加の薬液バスの監視が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ABBジャパン
- 価格：応相談
