直径測定器(no) - 企業1社の製品一覧

非接触式 直径測定器(DMC-02型)

レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ（基準ウェーハ）との比較により直径を測定する装置です。

・非接触にてウェーハの直径を測定します。 ・ステージを回転する事で、A直径（3ポイント）・B直径を測定することが出来ます。 ・バーコードリーダにてLOT NO. 等の読込が出来ます。 ・測定値は、付属パソコンにExcel形式にて保存します。

• 企業：株式会社ジャステム
• 価格：応相談

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置