非接触式 直径測定器(DMC-02型)
レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ(基準ウェーハ)との比較により直径を測定する装置です。
・非接触にてウェーハの直径を測定します。 ・ステージを回転する事で、A直径(3ポイント)・B直径を測定することが出来ます。 ・バーコードリーダにてLOT NO. 等の読込が出来ます。 ・測定値は、付属パソコンにExcel形式にて保存します。
- 企業:株式会社ジャステム
- 価格:応相談
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レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ(基準ウェーハ)との比較により直径を測定する装置です。
・非接触にてウェーハの直径を測定します。 ・ステージを回転する事で、A直径(3ポイント)・B直径を測定することが出来ます。 ・バーコードリーダにてLOT NO. 等の読込が出来ます。 ・測定値は、付属パソコンにExcel形式にて保存します。
Green LED光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ(基準ウェーハ)との比較により直径を測定する装置です。
直径測定値(平均直径値等)を付属パソコンにエクセル形式で保存します。
毛髪の外径を正確に把握しておくことで特性測定にフィードバックさせることが可能
本装置で基本特性として毛髪の外径を正確に把握し、他の特性評価にデータをフィードバックをするためのものです。 毛髪の外径を測定する方法は従来より様々な方法がありますが、本装置はより精密でかつ迅速に測定することが可能にするため資生堂様と共同開発されました。 ※操作はタッチパネル方式です。
画像処理によりウェーハの端面を検出し、直径を測定する装置です。
・非接触にてウェーハの直径を測定します。 ・ステージを回転することでオリフラ面の直径やノッチの深さにも対応します。 ・カメラ取り付け部分は上下方向に手動調整が可能な機構となっています。