半導体基板直径測定装置(DMC-03型)
Green LED光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ(基準ウェーハ)との比較により直径を測定する装置です。
直径測定値(平均直径値等)を付属パソコンにエクセル形式で保存します。
- 企業:株式会社ジャステム
- 価格:応相談
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Green LED光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ(基準ウェーハ)との比較により直径を測定する装置です。
直径測定値(平均直径値等)を付属パソコンにエクセル形式で保存します。