基板直径測定器 - メーカー・企業と製品の一覧

半導体基板直径測定装置(DMC-03型）

Green LED光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ（基準ウェーハ）との比較により直径を測定する装置です。

直径測定値(平均直径値等）を付属パソコンにエクセル形式で保存します。

• 企業：株式会社ジャステム
• 価格：応相談

• 半導体検査/試験装置