大気圧確認用真空スイッチ PS91
半導体型薄膜素子採用で高真空連続使用に対応が可能
日本電産コパル電子の【PS91シリーズ】は、半導体型薄膜素子（SUS316L）を採用、高真空連続使用に対応可能な大気圧確認用真空スイッチ。継手はISO規格のクイックリリースカップリングとガスケット継手を採用、スイッチ出力は2点を背面にトリマで任意に設定できる
- 企業：ニデックコンポーネンツ株式会社 (旧社名: 日本電産コパル電子株式会社)
- 価格：応相談
真空スイッチ(素子) - 企業2社の製品一覧
製品一覧
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真空スイッチ SVS-1
真空検出素子には、多段ベロ−ズを使用
あらゆる産業機器に使用されている、標準型真空自動制御スイッチです。 【特長】 ■単極双投接点を備え、設定真空度の上限、下限において 同時にON-OFFの2点制御信号が得られ必要に応じ設定真空度の変更ができる ■真空検出素子には、多段ベロ−ズを使用 ■電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構によ り開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の少ない極めて 動作感度の高い構造なため、精度の高い長寿命性を要求する 真空制御の検出端として最適 ■流体：空気、ガス、油、水、他 腐食性液体、ガス等の流体には 耐蝕性ステンレス受圧部（接液部）をご用意 ※詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社三和電機製作所
- 価格：応相談
大気圧確認用真空スイッチ PS９１
オイルレス 長寿命 真空スイッチ
PS91は、半導体、液晶製造装置の真空プロセスで使用される大気圧確認用の電子式真空スイッチです。 可動部のない電子式スイッチなので、より長寿命が図れます。 また、継手にはボルト・ナットが不要で脱着の容易な国際規格（ISO）のクイック-リリース カップリング （Quick-release Coupling）を採用しております。 オイルを使用していないため既存品より長寿命を実現しています。 ●半導体型薄膜素子（SUS316L）を採用し、高真空連続使用に対応可能 ●継手はISO規格のクイックリリースカップリング及び、ガスケット継手を採用 ●スイッチ出力は2点を背面のトリマーにて任意に設定可能 ●CEマーキング、UL認証取得予定
- 企業：ニデックコンポーネンツ株式会社 (旧社名: 日本電産コパル電子株式会社)
- 価格：応相談
防水型真空スイッチ SVS-1WP
IP54相当
堅牢なアルミダイカストのカバーを用いた防水型真空スイッチです。 【特長】 ■ON-OFFの2点制御信号が得られ 必要に応じ設定真空度の変更ができる ■真空検出素子には、多段ベロ−ズを使用 ■電気的開閉機構は鋭感なる スナップアクション機構により開閉の信頼性を確保 ■シンプルな設計で累積誤差の少ない、極めて動作感度の高い構造 ■精度の高い長寿命性を要求する真空制御の検出端として最適 ■流体：空気、ガス、油、水、他 ※詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社三和電機製作所
- 価格：応相談
真空スイッチ SVS-1F
差圧2.7〜6.0kPa(20〜45mmHg)
微差圧（ONとOFFとの差）設定に最適な真空スイッチです。 【特長】 ■単極双投接点を備え、設定真空度の 上限、下限において同時にON-OFFの2点制御信号が得られ 必要に応じ設定真空度の変更ができる真空自動制御スイッチ ■真空検出素子には、多段ベロ−ズを使用 ■電気的開閉機構は鋭感なる スナップアクション機構により開閉の信頼性を確保 ■シンプルな設計で累積誤差の少ない、極めて動作感度の高い構造 精度の高い長寿命性を要求する真空制御の検出端として最適 ■流体：空気、ガス、油、水、他 腐食性液体、ガス等の流体には 耐蝕性ステンレス受圧部（接液部）をご用意 ※詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社三和電機製作所
- 価格：応相談
端子台付防水型真空スイッチ SVS-18
一般回路はもちろん、真空包装・真空吸着装置等の到達又は、 破壊真空度の検出に最適
堅牢なアルミダイカストのカバ−を用いた端子台付防水型真空スイッチです。 【特長】 ■単極双投接点を備え、設定圧力の 上限、下限において同時にON-OFFの2点制御信号が得られ 必要に応じ設定真空度の変更ができる真空自動制御スイッチ ■真空検出素子には、多段ベロ−ズを使用 ■電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構により 開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の少ない 極めて動作感度の高い構造のため、精度の高い 長寿命性を要求する真空制御の検出端として最適 ■アンモニア仕様や海水仕様もご用意 ■流体：空気、ガス、油、水、他 腐食性液体、ガス等の流体には 耐蝕性ステンレス受圧部（接液部）をご用意 ※詳細はお問い合わせいただくか、PDF資料をダウンロードしてください。
- 企業：株式会社三和電機製作所
- 価格：応相談
微真空スイッチ SVS-5K
内圧式防爆機器のケ−スの内圧検出に最適
一般計装タイプの微真空スイッチです。 【特長】 ■単極双投接点を備え、設定圧力の 上限、下限において同時にON-OFFの2点制御信号が得られ 必要に応じ設定真空度の変更ができる真空自動制御スイッチ ■堅牢な亜鉛合金ダイカストのカバーを用いた防水型（IP54相当） ■圧力検出素子には、高感度のゴムダイヤフラムを使用 −0.2kPaからの微少真空度も検出可能 ■電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構により 開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の少ない 極めて動作感度の高い構造のため、精度の高い 長寿命性を要求する真空制御の検出端として最適 ■流体：空気、ガス、油、水、他 腐食性液体、ガス等の流体には 耐蝕性ステンレス受圧部（接液部）をご用意 ※詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社三和電機製作所
- 価格：応相談
防水型微真空スイッチ SVS-5
微小差圧の検出に、特性を充分に発揮
エア−ピンセット等の微小な資料の脱着を 確認するような真空回路の真空検出端として最適な、微真空スイッチです。 【特長】 ■単極双投接点を備え、設定圧力の 上限、下限において同時にON-OFFの2点制御信号が得られ 必要に応じ設定真空度の変更ができる真空自動制御スイッチ ■堅牢な亜鉛合金ダイカストのカバーを用いた防水型（IP54相当） ■圧力検出素子には、高感度のゴムダイヤフラムを使用 −0.2kPaからの微少真空度も検出可能 ■電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構により 開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の少ない 極めて動作感度の高い構造のため、精度の高い 長寿命性を要求する真空制御の検出端として最適 ■流体：空気、ガス、油、水、他 腐食性液体、ガス等の流体には 耐蝕性ステンレス受圧部（接液部）をご用意 ※詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社三和電機製作所
- 価格：応相談
端子台付防水型微真空スイッチ SVS-5A
堅牢な亜鉛合金ダイカストのカバーを採用
IP54相当の防水型端子台付き微真空スイッチです。 【特長】 ■単極双投接点を備え、設定圧力の 上限、下限において同時にON-OFFの2点制御信号が得られ 必要に応じ設定真空度の変更ができる真空自動制御スイッチ ■堅牢な亜鉛合金ダイカストのカバーを用いた防水型（IP54相当） ■圧力検出素子には、高感度のゴムダイヤフラムを使用 −0.2kPaからの微少真空度も検出可能 ■電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構により 開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の少ない 極めて動作感度の高い構造のため、精度の高い 長寿命性を要求する真空制御の検出端として最適 ■流体：空気、ガス、油、水、他 （腐食性液体、ガス等の流体には耐蝕性ステンレス受圧部（接液部）をご用意） ※詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社三和電機製作所
- 価格：応相談
端子台付防水型絶対圧基準高真空スイッチ SVS-7
1.3〜100kPa(10〜756Torr)という高真空から低真空まで設定可能
堅牢なアルミダイカストのカバ−を用いた 防水型端子台付き絶対圧基準高真空スイッチです。 【特長】 ■単極双投接点を備え、設定圧力の 上限、下限において同時にON-OFFの2点制御信号が得られ 必要に応じ設定真空度の変更ができる真空自動制御スイッチ ■真空内検出素子として、ベロ−ズ内部を高真空状態で 密封したものを使用している為、気圧の変動を受けにくい ■電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構により 開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の少ない 極めて動作感度の高い構造のため、精度の高い 長寿命性を要求する真空制御の検出端として最適 ■流体：空気、ガス ※詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社三和電機製作所
- 価格：応相談
真空スイッチ （端子台付防水型絶対圧基準高真空スイッチ）
精度の高い長寿命性を要求する真空制御の検出端として好適
真空内検出素子として、ベロ−ズ内部を高真空状態で密封したものを使用している為気圧の変動を受けにくい構造になっています。 電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構により開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の少ない極めて動作感度の高い構造になっております。 半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ−スタ−等に数多く使用されています。 配線取りつけは、スイッチ内部に３P端子台がついており、被覆外形φ7〜φ11のキャップタイヤコ−ドで配線できます。 取りつけは、フランジ型とネジ込み型を用意しています。又VCR継手、ヘル−ルも可能です。 ※詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社三和電機製作所
- 価格：応相談
