半導体型薄膜素子採用で高真空連続使用に対応が可能
日本電産コパル電子の【PS91シリーズ】は、半導体型薄膜素子（SUS316L）を採用、高真空連続使用に対応可能な大気圧確認用真空スイッチ。継手はISO規格のクイックリリースカップリングとガスケット継手を採用、スイッチ出力は2点を背面にトリマで任意に設定できる
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基本情報
【PS91シリーズ】は、半導体や液晶／有機EL製造装置で使用される真空チャンバなどに適している。 指示方式：ゲージ圧 定格圧力範囲：-100～10 kPa 電源：12～24 V DC 出力：NPN/PNPオープンコレクタ出力2点 出力精度 (%FS)：±3
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置 油圧機器
企業情報
当社は1967年創立以来、エレクトロニクス産業向けに数多くの製品を創出してきました。 先端技術を追求してきた結果、世界初、国内初の新製品がその中に含まれています。 また、高品質な製品を継続して供給してきたことより、幅広いお客様より評価されております。 それにより、トリマでは国内市場で約50%のトップシェアを得ております。 他各種製品も高い市場性を有しております。 市場ニーズへの対応も積極的に行っております。 皆様のニーズにお応えしてまいりますので、ぜひお聞かせください。