精度の高い長寿命性を要求する真空制御の検出端として好適
真空内検出素子として、ベロ−ズ内部を高真空状態で密封したものを使用している為気圧の変動を受けにくい構造になっています。 電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構により開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の少ない極めて動作感度の高い構造になっております。 半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ−スタ−等に数多く使用されています。 配線取りつけは、スイッチ内部に３P端子台がついており、被覆外形φ7〜φ11のキャップタイヤコ−ドで配線できます。 取りつけは、フランジ型とネジ込み型を用意しています。又VCR継手、ヘル−ルも可能です。 ※詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 標準仕様 単位: kPa (Torr) 圧力調整範囲 （圧力レンジ） 1.3〜100 (10〜756） 開閉圧力差 2.7〜8.0 (20〜60) 耐圧力 300 (3kg/cm2) ※詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてください。
価格情報
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納期
用途／実績例
半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ−スタ−等に数多く使用されています。
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企業情報
圧力・真空計測・制御のエキスパートとして、半世紀以上の実績と蓄積された経験とノウハウにより、圧力・真空制御スイッチ専業メーカーとしての目標を極める為、常に品質の向上はもとより、お客様の要求するあらゆる使用条件、あらゆる仕様に対応できる適応機種の開発及び自社独自での生産ラインの企画、設計、製作、改良を行っております。 生産性の合理化と高品質化に努めており、構成部品の部品加工から出荷に至るまですべて社内で一貫生産しており高品質な製品を短納期にてお客様に提供いたしております。 電車車輌から工作機械、医療関係、食品関係など業界を問わずあらゆる仕様にも対応できるようになっております。 特殊仕様も多機種ご用意しておりますので、ご相談ください。
