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真空センサ(測定) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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真空センサ『730シリーズ』

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

『730シリーズ』は、コンパクトサイズ・ローコスト・高精度を実現した セトラシステムズ社のキャパシタンス真空センサです。静電容量の変化を検知して、 リニアな直流電圧信号に変換し出力します。 温度補償範囲が広く耐圧性能に優れるため、様々な用途に使用でき、 太陽光パネル、半導体、石油化学など幅広い分野のプロセス制御で 重要な真空圧力範囲の測定に活躍します。 【特長】 ■極めて低いノイズ影響 ■接ガス部にインコネルを採用 ■CEマーク対応/RoHS準拠 ■接続継手の選択が可能 ※『730シリーズ』のカタログはPDFダウンロードよりすぐにご確認いただけます。  そのほかご不明点はお気軽にお問合せください。

  • 圧力計

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