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真空バルブ(真空ポンプ) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

真空バルブの製品一覧

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Equilibar 大型電子真空バルブ

プロセスオートメーション用電子真空バルブ。電子式真空調整弁 サイズ1.5インチ~4インチ。

高流量電子式真空調整弁は、従来のPID制御バタフライ弁よりもはるかに高速かつ高精度なソリューションを提供します。 Equilibarの2段式パイロット制御ソリューションでは、小型の電子式真空パイロットレギュレータが真空設定値信号を大型の背圧レギュレータ(BRP)に送信し、BRPの入口で1対1の直接的な関係で制御された真空状態を実現します。この目的のために、Equilibarの高分解能電子式真空パイロットレギュレータが使用されます。この電子式真空パイロットレギュレータと高精度パイロット制御背圧レギュレータの組み合わせにより、完全な電子式真空バルブパッケージが構成されます。電子式真空バルブは、従来の4-20mAアナログ入力と最新のシリアルデジタル入力の両方に対応しています。 クローズドループモードでは、プロセス真空圧力は別の真空圧力センサーによって監視され、パイロットレギュレーターへの指令信号が調整されて、プロセス圧力が目標設定値に一致するように制御されます。このPID制御は、機種によっては電子圧力レギュレーター内部で実行される場合もあれば、プロセス制御システムで設定される場合もあります。

  • EVR-BD16-QPV-300x300-1.jpg
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HVA社高真空・超高真空バルブ

高品質・コンパクトな高真空バルブ

HVA社の高真空バルブ・超高真空バルブは、半導体製造装置をはじめ、研究機器など様々 な分野に対応する多種多様のゲートバルブ、スリットバルブを取り揃えております。

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真空バルブ『Equalizer Control Valve』

ガスフローを均等にする必要があるプロセスに適した真空バルブ

『Equalizer Control Valve』は、圧力制御が可能な真空バルブです。 排気ポンプを内側に設置出来る為、省スペースに寄与し、ガスフローを 均等にする必要があるプロセスに適しています。 当社では、納期と予算を含め、ご要望に見合った特殊バルブをご提供します。 開口サイズ、圧力、使用流体、温度など、お客様のご要望をぜひお聞かせください。 【特長】 ■圧力制御が可能 ■ガスフローを均等にする必要があるプロセスに好適 ■排気ポンプを内側に設置出来る為、省スペースに寄与 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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Equilibar 高流量真空バルブ

高精度高流量真空調整弁(EVR)は、最大4インチまでの配管サイズにおいて、他に類を見ない優れた性能を発揮します。

ドーム型多孔オリフィス技術を採用して設計されており、幅広い流量範囲で精密な制御を実現します。Equilibar精密EVRは、唯一の可動部品であるフレキシブルダイヤフラムを制御機構として採用しています。このダイヤフラムはバルブ内部のオリフィスに直接密着するため、従来の動的Oリングやワイパータイプのシールを用いた真空制御バルブによく見られる「スティクション」を解消します。Equilibar設計は摩擦がなく、極めて高い分解能で真空を制御できます。動作原理の詳細については、こちらをご覧ください。 当社の高精度高流量真空バルブは、1 1/2インチから4インチまでのサイズを取り揃えており、材質は用途に応じた温度および耐薬品性に​​応じて、ステンレス鋼316/316L、陽極酸化アルミニウム、またはPVCからお選びいただけます。各EVRには、ノブで簡単に調整できる手動パイロット設定値レギュレーターが付属しています。EVRの自動化をご希望の場合は、電子パイロットレギュレーターをご購入いただけます。

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