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日揚科技は用途に合わせて多様なタイプの真空バルブを供給しています。
真空バルブ「真空バルブシリーズ」は低真空から超高真空まで対応できます。ストレート(Y型及びZ型）バルブを使用する場合、配管を曲げなくでもバルブをうまく接続できます。日揚科技は用途に合わせて多様なタイプの真空バルブを供給しています。それらはアングルバルブ、ストレート(Y型及びZ型）バルブ、ボールバルブ、オートメートルバルブ、手動式と圧空式、またはベローズツキとベローズナキを選択できます。真空バルブを使用する目的はガスを調節するや流量をコントロールすること。そのため、多くの真空チャンバー、真空システム装置、真空成膜装置に応用しています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
高精度高流量真空調整弁（EVR）は、最大4インチまでの配管サイズにおいて、他に類を見ない優れた性能を発揮します。
ドーム型多孔オリフィス技術を採用して設計されており、幅広い流量範囲で精密な制御を実現します。Equilibar精密EVRは、唯一の可動部品であるフレキシブルダイヤフラムを制御機構として採用しています。このダイヤフラムはバルブ内部のオリフィスに直接密着するため、従来の動的Oリングやワイパータイプのシールを用いた真空制御バルブによく見られる「スティクション」を解消します。Equilibar設計は摩擦がなく、極めて高い分解能で真空を制御できます。動作原理の詳細については、こちらをご覧ください。 当社の高精度高流量真空バルブは、1 1/2インチから4インチまでのサイズを取り揃えており、材質は用途に応じた温度および耐薬品性に応じて、ステンレス鋼316/316L、陽極酸化アルミニウム、またはPVCからお選びいただけます。各EVRには、ノブで簡単に調整できる手動パイロット設定値レギュレーターが付属しています。EVRの自動化をご希望の場合は、電子パイロットレギュレーターをご購入いただけます。
