真空吸込フィルタ 高効率真空フィルタおよびトラップ
目的と利点
製造工程の流体から有害粒子を除去することは単/多結晶半導体素材、薄膜製造工程及び積層工程に使用される真空装置における寿命と信頼性にとって不可欠です。
- Company:ソルバーグ・インターナショナル・ジャパン株式会社
- Price:応相談
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目的と利点
製造工程の流体から有害粒子を除去することは単/多結晶半導体素材、薄膜製造工程及び積層工程に使用される真空装置における寿命と信頼性にとって不可欠です。