目的と利点
製造工程の流体から有害粒子を除去することは単／多結晶半導体素材、薄膜製造工程及び積層工程に使用される真空装置における寿命と信頼性にとって不可欠です。
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基本情報
【特徴】 ○摩耗性粒子はポンプを早期に破壊し、その結果運転停止させ復旧させるにはコストが高くつくことになります。 ○高真空で運転中に逆流を防ぐことは、製造工程の汚染防止には不可欠です。 ○ソルバーグの吸込真空フィルタ及びトラップの広範なラインは、ウエットとドライ双方の 真空ポンプ仕様に見合う様に設計されています。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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企業情報
1968年以来、ソルバーグ社はお客様のニーズに 合った各種空気/ガス/オイルミスト用のフィルタを 供給してまいりました。 空気圧縮機、ブロワ、真空ポンプ等の各種フィルタ及び オイルミストセパレータを豊富に取り揃えております。 当社のフィルタはあらゆる用途に対応いたします。