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高真空及び超高真空に対応可能の真空部品
日揚科技(Htc)は供給している真空フランジはKF(NW)シリーズ、ISOシリーズとICFシリーズの3種類があります。ICFフランジシリーズ は製品多様に揃えています。 ICFシリーズフランジを分類すると固定型、回転型、ボルト穴タイプ、タップタイプになっています。また、両側に口径を異なる接続の変換フランジもあります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
真空用フランジとして、一般的なICF114フランジの特注品の製作事例です。
真空用フランジとして、一般的なICF114フランジの特注品の事例紹介です。内部が水冷ジャケット構造になってます。 【特長】 ■シール面の内側円周方向に溶接ビードがあり ■内部が水冷ジャケット構造 ■ICF34のフランジは貫通 ■ICFのエッジ（シール部分）も１から加工 ※詳しくは、カタログをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。
シール用ガスケットは銅板製で超高真空用特殊処理を採用！オス・メスなしの完全対称形フランジ
当社では、超高真空フランジとして『ICFフランジ』を取り扱っています。 当製品は、メタルシールフランジで、現在知られている超高真空用 フランジの中では特に信頼性が高く、取り扱い方法も簡単。 専用の無酸素銅製ガスケットを使用します。 【特長】 ■"Capturing"の理論により、ガスケットを弾性的にシール ■10^-10Pa以下の圧力に耐える仕様 ■-196℃より+450℃までの温度範囲でリークフリー ■オス・メスなしの完全対称形フランジ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ISO3669-1986に準拠した超高真空対応のベーカブルフランジです。【アルバック／ULVAC】
UFCシリーズは、アルバック独自のナイフエッジ型メタルシール方式のISO3669-1986に準拠した超高真空対応のベーカブルフランジです。 UFCフランジを使用した各種フィッティング、銅ガスケット、ボルトセットなども各種取りそろえています。 【仕様】 ○使用圧力領域 大気圧～ 10^-11Pa ○許容リーク量 1.0×10^-11Pa・m3/s ○使用温度範囲 －196 ～ 450°C ○常用ベークアウト 温度300°C以下 ○材質 オーステナイト系ステンレス鋼 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
