ISO3669-1986に準拠した超高真空対応のベーカブルフランジです。【アルバック／ULVAC】
UFCシリーズは、アルバック独自のナイフエッジ型メタルシール方式のISO3669-1986に準拠した超高真空対応のベーカブルフランジです。 UFCフランジを使用した各種フィッティング、銅ガスケット、ボルトセットなども各種取りそろえています。 【仕様】 ○使用圧力領域 大気圧～ 10^-11Pa ○許容リーク量 1.0×10^-11Pa・m3/s ○使用温度範囲 －196 ～ 450°C ○常用ベークアウト 温度300°C以下 ○材質 オーステナイト系ステンレス鋼 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○長寿命設計 →エッジ部は、繰り返しの接続に耐える長寿命設計 ○超高真空に最適 →メタルシール方式採用により、ガスの透過が無く、リークタイト →オーステナイト系ステンレス鋼の採用により低ガス放出を実現 [UFCフランジ] ○溶接歪みを抑える構造 →フランジと接続パイプの溶接部には、 ナイフエッジ部の歪みやフランジ全体の歪みを抑える構造を採用 ○固定式と回転式 →各サイズに固定式と回転式をラインナップ →固定式は通しボルト穴仕様とタップ穴仕様をラインナップ [UFC変換フランジ] ○コンパクト設計に便利 →接続パイプを使用しないため、 コンパクトに異径フランジのコンポーネントを接続可能 [フィッティング] ○豊富なラインナップ →30種のフィッテングをラインナップ [ガスケット] ○超高真空に最適 →無酸素銅（OFHC）製メタルガスケットは、清浄で低放出ガス ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○各種超高真空装置 ○各種分析装置 ○リークタイト仕様の用途 ○高温ベーキングの用途 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
