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真空ポンプ(クリーン) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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ドライ真空ポンプ『MU-X シリーズ』

世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現!あらゆる製造装置に組み込みが可能

『MU-X シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.35kW ■A3以下の230×450mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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