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真空ポンプ(メカニカルブースター) - 企業1社の製品一覧

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ルーツ真空ポンプ

メカニカルブースターポンプ

まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる   機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの   大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ(Rシリーズ)もラインアップ   (宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応) ○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で   圧力コントロールをしたりする事ができる ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。

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