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優れた吸引速度により、測定チャンバーを高速で排気、高真空での高流量 ターボ分子ポンプへの移送領域で安定した真空
N813.3シリーズ 基本流量: 13 l/min (流量可変仕様あり) 到達真空度: 3.0 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 bar (0.01 MPa) N813.4シリーズ 基本流量: 13 l/min (流量可変仕様あり) 到達真空度: 0.5 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 bar (0.01 MPa)
優れた吸引速度により、測定チャンバーを高速で排気、高真空での高流量 ターボ分子ポンプへの移送領域で安定した真空
N84.4シリーズ 基本流量: 4.8 l/min (流量可変仕様あり) 到達真空度: 2.0 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 - 0.3 bar (0.01 - 0.03 MPa) N84.5シリーズ 基本流量: 10 l/min (流量可変仕様あり) 到達真空度: 1.0 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 - 0.3 bar (0.01 - 0.03 MPa)
過酷な運転条件でも耐久性、多用途の真空アプリケーションにご使用いただけます。
・プロセスポンプ ・耐食仕様 基本流量: 33 l/min ～ 39 l/min (ダイアフラム材質により異なります) 到達真空度: < 100 mbar abs ～ ポンプヘッド材質: アルミニウム / ステンレススチール ダイアフラム材質: CR / FPM (FKM) / PTFE-coated 日本電圧 AC単相 100V 50/60Hz ご用意できます。
過酷な運転条件でも耐久性、多用途の真空アプリケーションにご使用いただけます。
・プロセスポンプ ・耐食仕様 基本流量: 18 l/min ～ 22 l/min (ダイアフラム材質により異なります) 到達真空度: < 20 mbar abs ～ ポンプヘッド材質: アルミニウム / ステンレススチール ダイアフラム材質: CR / FPM (FKM) / PTFE-coated 日本電圧 AC単相 100V 50/60Hz ご用意できます。
