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真空ポンプ(半導体) - メーカー・企業と製品の一覧

真空ポンプの製品一覧

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真空エジェクタ『耐薬品・耐ガス用CVコンバム(オーダメイド)』

本体およびノズル材質がオールステンレス!半導体製造装置で使用可能

株式会社妙徳では、本体およびノズル材質がオールステンレスの 耐薬品・耐ガス用CVコンバムをオーダーメイドにて提供しています。 材質はSUS303,SUS316を準備しております。 薬品・ガスなどの吸引に適しており、半導体製造装置で使用可能。 耐薬品性に優れるPTFEタイプ、さらにノズルと本体を PTFE溶接したタイプも製作いたします。 【特長】 ■本体およびノズル材質がオールステンレス ■半導体製造装置で使用可能 ■オールPTFEタイプも製作 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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省エネスマートエジェクタ『SC2 コンバム』

真空応答時間20msの高速応答!小型スマート設計の省エネスマートエジェクタ

『SC1 コンバム』は、真空応答時間20msの高速応答を実現した 省エネスマートエジェクタです。  ※条件: 05HSタイプ,-60kPa到達時   真空配管φ 4/φ 2.5× 50mmの時。 当社製品(MC42単体タイプ)と比較し体積比40%減を達成。 デジタル圧力センサを搭載できるほか、マニホールドは 8連マニホールドまで対応可能です。 【特長】 ■高速応答 ■小型スマート設計 ■デジタル圧力センサ搭載可能 ■排気方法は個別排気 ■マニホールド可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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