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真空ポンプ(半導体) - メーカー・企業と製品の一覧

真空ポンプの製品一覧

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省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC

同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現!

省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2(230×450mm)、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で最も経済性・操作性に優れたポンプであり、 幅広い用途に対応しています。

【特徴】 ○揺動ピストン形を採用しており、耐久性に優れ、 構造上、吸入空間を   大きく取る事ができ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造 ○低真空領域での連続運転や、大気圧と真空を短時間で繰返す、というような   過酷な運転条件でも、適切な油供給を行う機構を付属することにより、   長く安心して使用できる ○精密かつ堅牢な設計で、かつメンテナンスしやすい構造 ※適切なメンテナンスをして頂くことにより、 20年、30年といった長期間   ご使用いただいている例もあります。 ●詳細については、お問い合わせ下さい。

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