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真空ポンプ(大型) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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ルーツ真空ポンプ

メカニカルブースターポンプ

まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる   機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの   大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ(Rシリーズ)もラインアップ   (宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応) ○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で   圧力コントロールをしたりする事ができる ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。

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油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で最も経済性・操作性に優れたポンプであり、 幅広い用途に対応しています。

【特徴】 ○揺動ピストン形を採用しており、耐久性に優れ、 構造上、吸入空間を   大きく取る事ができ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造 ○低真空領域での連続運転や、大気圧と真空を短時間で繰返す、というような   過酷な運転条件でも、適切な油供給を行う機構を付属することにより、   長く安心して使用できる ○精密かつ堅牢な設計で、かつメンテナンスしやすい構造 ※適切なメンテナンスをして頂くことにより、 20年、30年といった長期間   ご使用いただいている例もあります。 ●詳細については、お問い合わせ下さい。

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