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大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！
空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
メカニカルブースターポンプ
まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ（Rシリーズ）もラインアップ （宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応） ○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で 圧力コントロールをしたりする事ができる ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。
液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮できる真空ポンプです。
封液の蒸気圧付近の到達圧力を得る事ができ、 封液に水を使用する場合が多く水封式真空ポンプとも呼ばれています。 【特徴】 ○水をはじめ様々な封液を選択でき、用途に応じた最適な封液を選択する事により、 水蒸気や有機溶剤を含む気体（凝縮性気体）の排気にも対応 ○封液をクローズド（閉サイクル）システムで循環することにより、 発生する廃液を最小に抑えることも可能 ○他のポンプなどと組合せることにより、様々なプロセスに対応 ・ルーツポンプと組合せることにより、少ないエネルギーで大排気、高真空を実現（PRLシリーズ） ・アトモスタ（空気エジェクタ）と組合せることにより、到達圧力を有利にし、 キャビテーション防止することができる（1段アトモスタ：WAシリーズ、2段アトモスタWBシリーズ） ●詳細については、お問い合わせ下さい。
簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポンプ
【特徴】 ○10 000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命 ○分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が容易に行える ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
【高品質な製品で魅力的な価格】ポンプの運転を安定化させる循環システム搭載の直結型油回転真空ポンプ（二段式）
『VRDシリーズ』は、冷凍機器産業、医療機器・医薬品産業などに適した 二段式の直結型油回転真空ポンプです。 排気速度4～65m³/hの幅広い製品ラインアップとオプション品を取り揃え、 高品質な製品を魅力的な価格で提供いたします。 装備した二段階調節のガスバラストバルブは、排気する凝縮性ガスの 量によって調節可能。(VRD-4とVRD-8は1段階) さらに当社ではプラズマ滅菌対応の「VRD-Mシリーズ」もご用意しております。 【特長】 ■ガスバラストバルブ (二段階調節) ■吸気口・排気口のそれぞれに逆止弁を搭載 ■ピン接合による完全一体型シリンダー構造 ■強制油循環システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
二段/三段式ガスバラストを標準搭載！配管工事不要で手間が省ける直結型油回転真空ポンプ
『VSVシリーズ』は、1段式の回転翼型(ベーン型)油回転真空ポンプです。 シンプルで堅牢な設計で、大気から真空への繰り返し排気に好適。 揺動ピストン形(キニータイプ)、カム形(センコタイプ)と比べて、 軽量・コンパクト・低振動構造です。 また、全機種空冷タイプ、冷却水不要で省エネ、低コストとなっており、 配管工事不要で手間が省けます。 【特長】 ■全機種空冷タイプ ■軽量・コンパクト・低振動 ■オイルフィルター標準搭載 ■ガスバラストバルブ(二/三段階調節) ■油煙トラップエレメント内蔵標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で最も経済性・操作性に優れたポンプであり、 幅広い用途に対応しています。
【特徴】 ○揺動ピストン形を採用しており、耐久性に優れ、 構造上、吸入空間を 大きく取る事ができ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造 ○低真空領域での連続運転や、大気圧と真空を短時間で繰返す、というような 過酷な運転条件でも、適切な油供給を行う機構を付属することにより、 長く安心して使用できる ○精密かつ堅牢な設計で、かつメンテナンスしやすい構造 ※適切なメンテナンスをして頂くことにより、 20年、30年といった長期間 ご使用いただいている例もあります。 ●詳細については、お問い合わせ下さい。
冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！
コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ○到達圧力0.5Pa ○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg） ○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー ○TMPの補助ポンプとして利用 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
ターボ分子ポンプ等の高真空ポンプの補助ポンプとして好適！
『VM70F』は、70m3/hで200V単相を実現する直結型油回転真空ポンプです。 ポンプ本体起動スイッチまたはD-SUBによる起動可能。凝縮性ガスに 強い製品です。 冷却水工事不要で導入できます。 ご用命の際は当社へお気軽にご連絡ください。 【特長】 ■大排気速度で単相電源 ■リモート/ローカル起動対応 ■ガスバラスト常時間 ■空冷仕様 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ポンプの運転を安定化させる循環システム搭載の油回転真空ポンプ。
『VRDシリーズ』は、一般産業、医療機器・医薬品産業などに適した 二段式の直結型油回転真空ポンプです。 排気速度4～65m3/hの幅広い製品ラインアップとオプション品を取り揃え、 高品質な製品を魅力的な価格で提供いたします。 装備した二段階調節のガスバラストバルブは、排気する凝縮性ガスの 量によって調節可能。(VRD-4とVRD-8は1段階) さらに当社ではプラズマ滅菌対応の「VRD-Mシリーズ」もご用意しております。 【特長】 ■ガスバラストバルブ(二段階調節) ■吸気口・排気口のそれぞれに逆止弁を搭載 ■ピン接合による完全一体型シリンダー構造 ■強制油循環システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
DCブラシレスモータ使用、低振動・低騒音を実現！ポンプの運転を安定化
『UD Series』は、ポンプ停止時の真空システムへの油逆流を防止する 直結型油回転真空ポンプです。 廃棄する凝縮性ガス(水蒸気など)の量によって調整可能。 機械部品を最小限に抑えることで容易且つ的確にメンテナンスと 修理を実現できます。 【特長】 ■ガスバラストバルブ ■吸気口・排気口それぞれに逆止弁を搭載 ■ロータ、ステータ部特殊熱処理 ■ピン接合による完全一体型シリンダー構造 ■強制油循環システム ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
