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真空ポンプ(液封式) - 企業1社の製品一覧

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液封式真空ポンプ(水封式真空ポンプ)

液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮できる真空ポンプです。

封液の蒸気圧付近の到達圧力を得る事ができ、 封液に水を使用する場合が多く水封式真空ポンプとも呼ばれています。 【特徴】 ○水をはじめ様々な封液を選択でき、用途に応じた最適な封液を選択する事により、   水蒸気や有機溶剤を含む気体(凝縮性気体)の排気にも対応 ○封液をクローズド(閉サイクル)システムで循環することにより、   発生する廃液を最小に抑えることも可能 ○他のポンプなどと組合せることにより、様々なプロセスに対応 ・ルーツポンプと組合せることにより、少ないエネルギーで大排気、高真空を実現(PRLシリーズ) ・アトモスタ(空気エジェクタ)と組合せることにより、到達圧力を有利にし、  キャビテーション防止することができる(1段アトモスタ:WAシリーズ、2段アトモスタWBシリーズ) ●詳細については、お問い合わせ下さい。

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ルーツ真空ポンプ

メカニカルブースターポンプ

まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる   機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの   大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ(Rシリーズ)もラインアップ   (宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応) ○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で   圧力コントロールをしたりする事ができる ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。

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