真空ポンプのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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真空ポンプ(装置) - メーカー・企業と製品の一覧

真空ポンプの製品一覧

1~7 件を表示 / 全 7 件

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マイクロ精密位置決めテーブル『TM』

超小型装置の位置決め機構に好適!精度を落とすことなく高速移動が可能

『TM』は、テーブル案内部にレール幅2mmのマイクロリニアウェイL、 送り機構にねじ径2mmのミニアチュアボールねじを組み込んだ 極小サイズの位置決めテーブルです。 モータは、標準タイプ、高トルクタイプの2種類のACサーボモータと ステッピングモータから用途に合わせて選択可能。 モーメントや複合荷重に強い構造です。 【特長】 ■研削ボールねじ駆動で断面高さ20mm、幅17mm ■テーブル最高速度75mm/sを発揮 ■用途に合わせたテーブル仕様が選択可能 ■オプションで超小型センサも内蔵可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 高周波・マイクロ波部品

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直動案内機器 精密位置決めテーブル TU

多様化するニーズに応えて[低断面構造]新登場!

U字形のトラックレールの内側にスライドテーブルを配置した、コンパクトでスリムな位置決めテーブルです。

  • その他機械要素

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直動案内機器 クリーン精密位置決めテーブル TC

いろいろな用途で使用できる多彩な形式

半導体・液晶関連製造装置など、高いクリーン度が要求される環境下での使用に最適な位置決めテーブルです。

  • その他機械要素

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直動案内機器 マイクロ精密位置決めテーブル TM

従来製品の2倍以上(当社比)のテーブル最高速度を実現!

超小型装置の分野で定評のある、トラックレール幅2mmのIKOマイクロリニアウェイLと、ねじ径2mmの精密研削ボールねじを組み込んだ、極めて小形な精密位置決めテーブルです。

  • その他機械要素

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直動案内機器 精密位置決めテーブル TE

軽量・コンパクトな位置決めテーブルが新登場!

主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用し、U字形のベッドの内側にスライドテーブルを配置した構造の軽量・コンパクトな位置決めテーブルです。

  • その他機械要素

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高精密位置決めテーブル『TX…M/CTX…M』

ストローク全域の位置決め精度を保証!高分解能と高速移動の両立が可能

『TX…M/CTX…M』は、各部精度を徹底的に追求し、エアステージに迫る 位置決め精度を実現した高精密位置決めテーブルです。 エア供給装置などは不要なので、システム構成がシンプルとなり、 省スペースや装置コストの削減が可能。 リニアエンコーダは、アブソリュート型とインクリメンタル型の 選択ができます。 【特長】 ■転がり案内方式 ■超高精度リニアエンコーダの搭載 ■高い位置決め精度と分解能を実現 ■アブソリュート型リニアエンコーダの選択が可能 ■ローラタイプ直動案内機器の採用で高い走行性能を実現 ■シンプルなシステム構成が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他機械要素

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精密位置決めテーブル『TE…B』

高強度アルミニウム合金を使用!機械・装置の仕様に合わせて好適な製品が選択可能

『TE…B』は、U字形のベッドの内側にスライドテーブルを配置した 位置決めテーブルです。 各種センサはベッドのセンサ取付溝に直接取り付ける構造になっているので 省スペース化に貢献。 部品点数の削減、部品形状の最適化により、優れたコストパフォーマンスを 実現しています。 【特長】 ■軽量・低断面・高精度 ■用途に合わせたテーブル仕様が選択可能 ■優れたコストパフォーマンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他機械要素

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