更新日： 集計期間:2026年03月18日～2026年04月14日
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Edwards nXDSシリーズはドライ真空ポンプの新時代を切り拓きます。
真空ポンプのリーディングカンパニーであるEdwardsは、新しいnXDSドライスクロールポンプを開発しました。 優れたポンプ性能と真空性能を備え、最先端の設計を取り入れたEdwards nXDSシリーズは、クラス最高レベルのポンプです。 「nXDS」は、他のポンプと比べておよそ1/20の静音性を実現しています。 インテリジェントな制御機能と最長5年の整備間隔により、所有コストを削減することができ、現在の最新技術のニーズを満たすのに最適な小型ドライ ポンプです。 【特長】 ○高度なスクロール方式とチップシール技術 →クラス最高の真空性能を実現 ○52dB(A)未満の静音性 →環境への影響を最小限に抑えることが可能 ○簡単操作で使いやすいインテリジェントな制御機能 ○完全密封型により潤滑油汚染のない真空環境を実現 ○6、10、15、および 20m?h??を準備 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
減圧ろ過、減圧乾燥に適した小型真空ポンプです。
ドライ真空ポンプRocker 300型の耐溶媒仕様です。 ポンプヘッド内およびダイヤフラムはPTFEコートされており、強酸、強アルカリを除く腐食性ガスに耐性があります。蒸留や濃縮、溶媒を使っての減圧ろ過など、幅広い用途にご使用いただけます。真空レギュレーターとトラップびんが標準で付属しています。
大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！
空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！
コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ○到達圧力0.5Pa ○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg） ○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー ○TMPの補助ポンプとして利用 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
小型で軽量、低騒音・低振動のドライ真空ポンプ。クリーンな真空を生成できます。
低騒音・低振動のため研究開発や分析機器での使用に最適なマルチルーツ型の小型ドライ真空ポンプ。先端のテクノロジーを使用した革新的なドライ真空ポンプです。ターボ分子ポンプのバックポンプとしての使用にも適しています。 非接触ローターを採用しており、パーティクルが発生しません。また、排気チャンバーはオイルフリーで、クリーンな真空を生成できます。 約5年間メンテナンス不要です。
小型・軽量 全圧力領域(大気圧～到達圧力) 軽分子ガスの排気が可能、完全オイルフリー
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ターボ分子ポンプ等の高真空ポンプの補助ポンプとして好適！
『VM70F』は、70m3/hで200V単相を実現する直結型油回転真空ポンプです。 ポンプ本体起動スイッチまたはD-SUBによる起動可能。凝縮性ガスに 強い製品です。 冷却水工事不要で導入できます。 ご用命の際は当社へお気軽にご連絡ください。 【特長】 ■大排気速度で単相電源 ■リモート/ローカル起動対応 ■ガスバラスト常時間 ■空冷仕様 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
強制循環型オイル潤滑で高い排気量をキープ。0.67Paの到達真空度を実現する2段式のロータリーベーン真空ポンプ。
実績豊富な油回転真空ポンプ。確立された原理で信頼性、堅牢性の高い製品です。 小さな筐体で到達真空値0.67Pa、しかも高真空領域でも高い排気速度を維持します。油回転ポンプで問題となるオイルミストも、ミストフィルターで解決！ 〇主な用途： - プラスチック業界：真空成形、コーティング装置、射出成形 - 自動車業界：ラジエーター液、ブレーキ液、冷媒、各種注入装置 - 分析業界：GCM、LCM、グローブボックス、電子顕微鏡、リークテスト - エレクトロニクス業界：薄膜装置 - 冶金業界：小型の焼結装置や真空炉などの粗引き及び補助ポンプ ※詳細はお問合せいただくか、PDF資料をダウンロードしてください。
これまでのメンテナンスコストを大幅に削減！長期間連続運転可能なドライポンプ
新型LEYVACの特徴 ・ドライポンプ：プロセスガスにポンプの潤滑油が接触しません ・5年間サービスが不要（クリーンなアプリケーションの場合） ・信頼性のある確立されたスクリュー式のデザイン ・80m^3/h, 140,^3/hの排気速度を大気圧付近から発揮 ・堅牢なデザインと確立された技術により長期間連続運転が可能 ・予想される誤使用に対しても保護機能あり ・大気圧からプロセス圧までフラットな排気速度 ・軽量ガスに対する排気速度が速い ・優れたリークタイト性能 ・ダストに対する耐性が強い ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
優れた真空性能と排気速度、低振動低騒音、自社製ブラシレスDCモータは各パラメータの設定によるデジタルカスタマイズが可能です。
・優れた排気速度で高真空に至ります ・堅牢設計 ・低振動・低騒音設計 N952KNDC-B 基本流量: 11 - 36 l/min 排気速度: 0.66 - 2.16 m3h 到達真空度: 1.5 mbar abs 許容最大吐出圧: 1 bar (0.1 MPa) N952KTE-W 基本流量: 32 l/min 排気速度: 1.92 m3h 到達真空度: 2 mbar abs 許容最大吐出圧: 1 bar (0.1 MPa) N952KT.29E-W 基本流量: 9- 32 l/min 排気速度: 0.54 - 1.92 m3h 到達真空度: 2 mbar abs 許容最大吐出圧: 1 bar (0.1 MPa)
