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堅牢設計なプロセス工程用ダイアフラム真空ポンプ＆コンプレッサー
・許容最大吐出圧 12 bar (1.2 MPa) ・リークタイト設計 ・豊富な接ガス材質 EPDM / PTFE ・水素、二酸化炭素、ヘリウムなどガス移送 基本流量: 130 l/min ± 10% (EPDMダイアフラム） 120 l/min ± 10% (PTFEダイアフラム） 到達真空度 100 mbar abs 許容最大吐出圧: 12 bar (1.2 MPa)
堅牢設計、耐食性、ガスタイト性、許容最大吐出圧 1.2 MPa
・許容最大吐出圧 12 bar (1.2 MPa) ・基本流量 110l/min (50Hz) ～ 140 l/min (60Hz) ・耐食仕様 SUS / PTFE ・タフな運転条件に耐える堅牢設計 ・リークタイト仕様 6 x 10-3 mbar x l/s
堅牢設計、耐食性、すべての圧力レベルで、プロセス全体を通して安定した気体移送を実現
・許容最大吐出圧 0.5 bar (0.05 MPa) ・基本流量 30 l/min (50Hz) / 35 l/min (60Hz) ・耐食仕様 SUS / PTFE ・タフな運転条件に耐える堅牢設計 ・リークタイト仕様 .9仕様: 6 x 10-3 mbar x l/s .13仕様 / .12仕様: 6 x 10-5 mbar x l/s ・水冷配管を設けることで、許容最大環境温度60℃、許容最大ガス温度60℃まで使用可能
堅牢設計、耐食性、すべての圧力レベルで、プロセス全体を通して安定した気体移送を実現
・許容最大吐出圧 7 bar (0.7 MPa) ※ダブルダイアフラム.12仕様は3 bar ・基本流量 30 l/min (50Hz) / 35 l/min (60Hz) ・耐食仕様 SUS / PTFE ・タフな運転条件に耐える堅牢設計 ・リークタイト仕様 .9仕様: 6 x 10-3 mbar x l/s .13仕様 / .12仕様: 6 x 10-5 mbar x l/s ・水冷配管を設けることで、許容最大環境温度60℃、許容最大ガス温度60℃まで使用可能
堅牢設計、耐食性、すべての圧力レベルで、プロセス全体を通して安定した気体移送を実現
・許容最大吐出圧 7 bar (0.7 MPa) ・基本流量 58 l/min (50Hz) / 68 l/min (60Hz) ・耐食仕様 SUS / PTFE ・タフな運転条件に耐える堅牢設計 ・リークタイト仕様 .9仕様: 6 x 10-3 mbar x l/s .13仕様 / .12仕様: 6 x 10-5 mbar x l/s ・水冷配管を使いすることで許容最大環境60℃、許容最大ガス温度60℃まで使用可能
堅牢設計、耐食性、すべての圧力レベルで、プロセス全体を通して安定した気体移送を実現
・許容最大吐出圧 12 bar (1.2 MPa) ・基本流量 30 l/min (50Hz) / 35 l/min (60Hz) ・耐食仕様 SUS / PTFE ・タフな運転条件に耐える堅牢設計 ・リークタイト仕様 .9仕様: 6 x 10-3 mbar x l/s .13仕様 : 6 x 10-5 mbar x l/s ・水冷配管を設けることで、許容最大環境温度60℃、許容最大ガス温度60℃まで使用可能
