CKD 低圧電空レギュレータ EVLシリーズ
50kPa以下での比例制御を0kPaから高精度に自在にコントロールできる小形/低圧/電空レギュレータです。
■特徴 【低圧コントロール】 0~50kPaまでの低圧制御が可能。 【高精度コントロール】 ヒステリシス:0.5%F.S. 分解能:0.2%F.S. 【クリーン】 流路部ノングリス 【保護構造IP64】 電気配線:M12コネクタ ■事例 研磨力コントロールやCMP装置など
- 企業:CKD株式会社
- 価格:応相談
1~2 件を表示 / 全 2 件
50kPa以下での比例制御を0kPaから高精度に自在にコントロールできる小形/低圧/電空レギュレータです。
■特徴 【低圧コントロール】 0~50kPaまでの低圧制御が可能。 【高精度コントロール】 ヒステリシス:0.5%F.S. 分解能:0.2%F.S. 【クリーン】 流路部ノングリス 【保護構造IP64】 電気配線:M12コネクタ ■事例 研磨力コントロールやCMP装置など
圧力表示やエラー表示機能・ダイレクトメモリ機能など使い易い機能が充実した、小形・高機能な電空レギュレータです。
【デジタル表示器付】 制御状態が一目でわかるデジタル表示器搭載。 【モジュール接続】 フィルタ・レギュレータとモジュール接続可能。 【高精度・高応答】 リニアリティ:±0.3%F.S. ヒステリシス:0.5%F.S. 応答性:0.2sec 【プリセット入力機能】 本体に8chまでの圧力を記憶させ、外部信号で切換可能。 【ダイレクトメモリ機能】 外部からの入力信号不要。 製品の操作キーで2次側圧力を自由に調整可能。