窒化アルミ (AlN)
窒化アルミ (AlN)
◆窒化アルミの特徴◆ 1. 高い熱伝導性 ・アルミナの約6倍です。 2. Siに近い熱膨張率 ・大型Siチップの搭載や熱サイクルに対する信頼性に優れています。 3. 優れた電気的特性 ・優れた電気絶縁性と誘電特性を持っています。 4. 高い強度 ・アルミナと同等の機械的強度を持っています。 5. 優れた耐食性 ・優れた耐食性を持ち、ほとんどの溶融金属に濡れません。
- Company:大光炉材株式会社 新素材統括部
- Price:応相談
Last Updated: Aggregation Period:2026年05月20日~2026年06月16日
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窒化アルミ (AlN)
◆窒化アルミの特徴◆ 1. 高い熱伝導性 ・アルミナの約6倍です。 2. Siに近い熱膨張率 ・大型Siチップの搭載や熱サイクルに対する信頼性に優れています。 3. 優れた電気的特性 ・優れた電気絶縁性と誘電特性を持っています。 4. 高い強度 ・アルミナと同等の機械的強度を持っています。 5. 優れた耐食性 ・優れた耐食性を持ち、ほとんどの溶融金属に濡れません。
低温・ 温度制御が容易・大きい成長速度でAlN種晶を作製可能
深紫外発光素子(DUV-LED)はAlGaN系窒化物半導体から作製される。そのAlGaN系DUV-LEDの基板材料には、AlGaNとの高い格子整合性、AlGaNよりも広いバンドギャップ、および高い熱伝導率が求められ、それらの条件を満たす窒化アルミニウム(AlN)が注目されている。 AlN単結晶作製の従来法として昇華法があるが、高温を必要とするためコストが高く、また温度制御が難しいという課題がある。 本技術を用いれば、低温かつ温度制御が容易な条件で、比較的大きい速度で単結晶のAlN種晶を作製することができる。 また本技術は、同発明者らによるAlN単結晶の液相成長法と組み合わせることで、本技術で作製した種晶上に、AlN結晶を成長させることで、AlNバルク材料を作製することが期待される。
世界最高水準の高熱伝導率、高絶縁耐圧!自動車や半導体などに好適
世界最高水準の高熱伝導率、高絶縁耐圧をもつ窒化アルミニウム(AlN)を取り扱っております。 <AlN(窒化アルミニウム)セラミックス基板> 機 能:高熱伝導、電気絶縁、放熱 用途例:産業用パワーモジュール
高い熱伝導率を有し、電子部材など放熱材料向けに需要が拡大中です。
高比表面積グレードを含む粉状品、及び、球状品もラインアップとして取り揃えております。 当社無機ファイン部HPもご覧ください。
半導体製造装置用部材、放熱板に!
石原ケミカルではマシナブルセラミックスでの実績をもとに、高品質の加工品を短納期で提供します。
高熱伝導率で高電気絶縁性の『窒化アルミ』は高熱伝導基板用材料としても注目され、次世代パワー半導体等の材料としても期待されています
窒化アルミはアルミニウムの窒化物であり、非常に熱伝導率が高い素材です。(約170W/(m・K)、アルミナと比べると約5-8倍)放熱部品や均熱部品等に採用されています。 他のセラミックと比べて電気絶縁性が高いことも特徴です。 鏡面加工も可能です。 <特徴> ・熱伝導率・熱放射率が大きく、均熱性が高い ・熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える ・Siにマッチした低熱膨張で、温度変化によるウエハの変形を防ぎ、またデポ膜の剥離によるパーティクル発生を低減する ・フッ素系ガスの耐食性が大きい ・耐プラズマ性に優れている ※詳しくはカタログ・HPをご覧いただくか、お気軽にお問合せください。
熱伝導性、耐熱衝撃性、電気絶縁性に優れた熱膨張を持つ窒化アルミ
『窒化アルミ』は熱伝導性、耐熱衝撃性、電気絶縁性に優れ シリコンに近い熱膨張を持つ材料です。 【特長】 ■高熱伝導率 ■耐熱衝撃性 ■シリコンウェハーに近い熱膨張率 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。