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高熱伝導率で高電気絶縁性の『窒化アルミ』は高熱伝導基板用材料としても注目され、次世代パワー半導体等の材料としても期待されています
窒化アルミはアルミニウムの窒化物であり、非常に熱伝導率が高い素材です。（約170W/(m・K)、アルミナと比べると約5-８倍）放熱部品や均熱部品等に採用されています。 他のセラミックと比べて電気絶縁性が高いことも特徴です。 鏡面加工も可能です。 ＜特徴＞ ・熱伝導率・熱放射率が大きく、均熱性が高い ・熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える ・Siにマッチした低熱膨張で、温度変化によるウエハの変形を防ぎ、またデポ膜の剥離によるパーティクル発生を低減する ・フッ素系ガスの耐食性が大きい ・耐プラズマ性に優れている ※詳しくはカタログ・HPをご覧いただくか、お気軽にお問合せください。
熱伝導性、耐熱衝撃性、電気絶縁性に優れた熱膨張を持つ窒化アルミ
『窒化アルミ』は熱伝導性、耐熱衝撃性、電気絶縁性に優れ シリコンに近い熱膨張を持つ材料です。 【特長】 ■高熱伝導率 ■耐熱衝撃性 ■シリコンウェハーに近い熱膨張率 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
窒化アルミ (AlN)
◆窒化アルミの特徴◆ 1. 高い熱伝導性 ・アルミナの約6倍です。 2. Siに近い熱膨張率 ・大型Siチップの搭載や熱サイクルに対する信頼性に優れています。 3. 優れた電気的特性 ・優れた電気絶縁性と誘電特性を持っています。 4. 高い強度 ・アルミナと同等の機械的強度を持っています。 5. 優れた耐食性 ・優れた耐食性を持ち、ほとんどの溶融金属に濡れません。
高い熱伝導率を有し、電子部材など放熱材料向けに需要が拡大中です。
高比表面積グレードを含む粉状品、及び、球状品もラインアップとして取り揃えております。 当社無機ファイン部HPもご覧ください。
