高熱伝導率で高電気絶縁性の『窒化アルミ』は高熱伝導基板用材料としても注目され、次世代パワー半導体等の材料としても期待されています
窒化アルミはアルミニウムの窒化物であり、非常に熱伝導率が高い素材です。（約170W/(m・K)、アルミナと比べると約5-８倍）放熱部品や均熱部品等に採用されています。 他のセラミックと比べて電気絶縁性が高いことも特徴です。 鏡面加工も可能です。 ＜特徴＞ ・熱伝導率・熱放射率が大きく、均熱性が高い ・熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える ・Siにマッチした低熱膨張で、温度変化によるウエハの変形を防ぎ、またデポ膜の剥離によるパーティクル発生を低減する ・フッ素系ガスの耐食性が大きい ・耐プラズマ性に優れている ※詳しくはカタログ・HPをご覧いただくか、お気軽にお問合せください。
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基本情報
取扱い標準寸法は以下の通りです。こちらの寸法を設計の参考にしてください。 ＜厚み標準寸法＞ ５mm、１０mm、１５mm、２０mm、４mm ＜外径標準寸法＞ ２１０×２１０ （厚み４mmのみ、３００×３００）
価格情報
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納期
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用途／実績例
＜用途＞ プラズマエッチャー用部品 ウエハーチャック用部品 ステッパー用ウエハー保持冶具 ダミーウエハー ヒーター均熱板 蒸着るつぼ
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企業情報
メタライズによる電極形成・セラミック焼結・研磨加工・ラップ・プレス加工・押出成形など、あらゆるご要望に最適な方法でお応えします。 アルミナ・ジルコニア・マコール・シェイパルHi Mソフト・窒化アルミ・BN・SiC・窒化ケイ素・石英・タングステン・モリブデン・タンタル・カーボンなど。半導体製造装置向けに特化した会社です。 短納期試作や、１個から量産までのあらゆるニーズにお応え致します。