Mipox ウェハ端面研磨装置
Mipox WaferEdgePolisherはSIウエハメーカー、再生ウエハメーカーを中心に200台以上の納入実績を誇ります。
テープ・エッジ・ポリッシャーのメリット ・ウェーハへのダメージが少ない ・ウェーハエッジ上の膜(例：SiO2)の除去が可能 ・ケミカルフリー加工 ・ユーティリティーの接続が簡単 ・様々なエッジ形状の成形が可能 ・粗削りも細かい研磨も可能 ・トップエッジ研磨が可能 ・SiCやGaNなどの難削材料も研磨可能 ・ノッチ、オリフラにも対応可能
- 企業：兼松ＰＷＳ株式会社
- 価格：応相談
