簡易洗浄機×株式会社ジャステム - 企業1社の製品一覧

ウェーハ簡易洗浄機（WCM-01型）

φ300 mmシリコンウェーハを簡易洗浄（ブラシ+水）する装置です。

・洗浄後はエアーナイフウェーハ表裏面の水滴を乾燥します。 ・ウェーハはエッジクランプにて取扱い、表裏面には接触しません。

• 企業：株式会社ジャステム
• 価格：応相談

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置